
13.56MHzの高周波電源を搭載しており、
2枚の平行極板間でプラズマを発生することができます。
プラズマを用いてプラズマ窒化や薄膜の化学気相成長することが可能です。

大気圧プラズマジェットを用いてポリマー材料や金属材料の表面処理を行います。
プラズマで表面処理をすることで、材料の表面自由エネルギーを増加させ濡れ性を向上させることで、コーティングや他の材料との密着性を増加させることができます。

樹脂フィルムの引張強度をASTM D882で測定することができます。
また、治具を交換することで薄膜の密着性をJIS K 5600-5-7で測定することができます。
本装置は(公財)高橋産業経済研究財団の研究助成金で購入しました。

材料表面の接触角をJIS R 3257の静滴法で測定することができます。
複数の液体で測定した接触角から、表面自由エネルギーを分散と極性の成分に分けて求めることができます。